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匀胶机嵌入式载物盘的使用

2017-01-19 14:24浏览数:958 

对方形基片如何提高匀胶过程中的涂胶均匀性?主要做如下几种方法考虑:

1、建议使用嵌入式载物盘,嵌入深度接近基片厚度,将方形片变成圆形进行涂胶,能够保证方片四个角的涂膜均匀性。

2、方片放入嵌入式载物盘上应稍高出载物盘平面,保证平面的胶液甩出,且嵌入面四周开一小的排胶槽,有利于底于积胶的排泄,且避免基片的四边胶堆积。

3、宜采用预先铺满胶(静态满涂胶)后进行旋涂的方式,确保四个角都能匀到胶。