咨询热线

0510-81602176



产品详情
SC200-DE匀胶显影机
SC200-DE匀胶显影机
产品详情

     SC200-DE匀胶显影机是一种既可用于精密匀胶操作,又可用于半导体显影和清洗的台面式设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。

  不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中领先的最大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保匀胶和显影的稳定性和极高的可重复性。


主要性能指标:

  • 主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)

  • 旋涂程序:最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒

  • 转动速度:0-5,000rpm(更高速可选)

  • 旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(空载)

  • 马达旋涂转速稳定性能误差 <±1rpm

  • 转速调节精度<1rpm,重复性<1rpm

  • 工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec

  • 支持wafer尺寸25px-200mm(8“圆晶)

  • 标准配置两路喷液系统(显影液和去离子水)


产品特性优点:

  • 主机在AC300匀胶机上升级,增加耐腐蚀高分子材料防溅罩盖

  • 全程序编辑功能,更方便的智能化操作,更好的显影/清洗效果

  • 可实现最多独立四路喷液用于显影/清洗工作,或进行氮气吹干

  • 控制器可实现程序自动控制喷液或进行手动操作,使用更加方便

  • 显影系统可进行喷雾式、柱流式多种选择,视要求进行配置

  • 提供客户定制化的显影系统配置和工装设计

  • 高可靠性和重复性,高转速精度和更高转速可选

  • 可添加去边胶和背胶清洗功能


该产品已停产,如有特别需要,请联系我们进行定制。