咨询热线

0510-81602176



产品详情
柜式喷胶机SP200
产品详情

      SP200喷胶机是一种满足半导体TSV、MEMS、WLP等工艺制程中异形表面的喷胶作业设备。是一种采用高精度微量液体平流传输和超声波雾化震荡技术均匀喷涂在一定温度的物件表面,多次沉积成均匀涂层膜的纳米喷胶设备。
  SP200采用铝型材机柜,耐腐蚀透明PC板和喷塑机柜钣金组成,美观大方。七寸全彩触屏界面,高精密电缸和伺服系统控制,整体设计布局合理,简单易用。


半导体异形表面喷胶机主要包括如下几个系统:

● 热盘加热及旋转控制系统
● XYZ三轴运动控制系统
● 胶液微流量平流传输系统
● 超声波雾化喷涂系统
● 圆晶真空吸附和顶升系统
● PLC控制、触屏操作系统
● 排废、抽气等气流控制系统



产品性能参数:

● 热盘温控范围:室温-200℃可调

● 温度分辨率:0.1℃

● 温度均匀性:<±1%(工作范围内)

● 载片台尺寸:Φ210mm,最大适合8寸圆晶,向下兼容

● 顶升高度范围:0-15mm

● 胶液流速范围:1-20ml/min

● 电缸移动速度:1-200mm/s

● 电缸定位精度:±0.02mm

● 电缸有效行程:300mm*300mm

● 超声波雾化粒径:30-50um

● 外型尺寸:1000mm(W)*880mm(D)*1800mm(H)



了解SP200柜式喷胶机更多详细信息和相关资料请随时联系我们。